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外延片(硅片)腐蝕清洗機

發布時間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點擊:111次

外延片(硅片)腐蝕清洗機(圖1)

 

概述:

本機控制模式:手動控制模式、自動控制模式。

主要特點:

清洗規格:

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動方式實現放件,取件,槽體間傳送件;腐蝕工藝自動補藥液,保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性。

(溫度,時間,DIW水清洗模式、時間可調)手動由觸摸屏界面可設定。

藥液供給及補液方式:分體式CDS自動供夜系統;DI槽配有在線式水質檢測裝置;配有分體式廢液回收系統。


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